纳秒激光光源模块参数：
参数类别
数值
波长
532nm
重复频率
50-250Khz
光斑模式
TEM00
光斑直径
<7MM
光斑圆度
>85%
光束发散角
<1mrad
M2因子
<1.2
光束稳定性
<±25urad/℃
平均功率稳定性
<1%rms
激光功率
<60W
激光单脉冲能量
<1mj
